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1、范圍
本標準規(guī)定了真空濺射鍍膜設備的型號和基本參數(shù)，技術要求，試驗方法，檢驗規(guī)則，標志、包裝、運輸和貯存等。
本標準適用于壓力在1*101～5*10-3Pa范圍的真空濺射鍍膜設備。
2、型號與基本參數(shù)
2.1 設備的型號應符合JB/T7673規(guī)定。
2.2設備的基本參數(shù)應符合表1的規(guī)定。
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參數(shù)名稱
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參數(shù)數(shù)值
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A
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B
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極限壓力Pa
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≤5*10-4
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≤5*10-3
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恢復真空抽氣時間min
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從大氣壓至7*10-3 Pa ≤20
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從大氣壓至7*10-2 Pa ≤10
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升壓率Pa/h
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≤8*10-1
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≤2.5
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濺射電流變化率
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<正負5%
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3、技術要求
3.1設備正常工作條件
3.1.1溫度：10度-30度
3.1.2相對濕度：不大于75%
3.1.3冷卻水進水溫度：不高于25度
3.1.4冷卻水質量：城市自來水或質量相當?shù)乃?br />
3.1.5供電電源：380V、三相四線制、50Hz，電壓波動范圍：361~399V,頻率波動范圍：49～51Hz.
3.1.6環(huán)境：室內應整潔；地面、天花板及設備周圍墻壁應干凈；空氣應清潔，不應有可引起電器及其他金屬件表面腐蝕或引起金屬間導電的塵埃或氣體存在。
3.2結構要求
3.2.1設備中靜、動密封圈的結構形式及尺寸應符合GB/T6070和JB/T1090-1092的規(guī)定。
3.2.2真空管道上和鍍膜室靠近排氣口位置上應裝真空測試十分規(guī)管，分別測量各部位的壓力。
3.2.3如果設備以油擴散泵或油擴散噴射泵為主泵，應在其進氣口一側安裝油蒸氣捕集阱。
3.2.4鍍膜室應設有觀察窗，對在鍍膜過程 中發(fā)生射線的設備，觀察窗上應加裝防射線鏡片。
3.3制造質量
設備的制造質量要求按GB/T11164-1999中的4.4
3.4安全防護要求
設備的安全防護要求按GB/T11164-1999中的4.5
4、試驗方法
4.1極限壓力
4.1.1試驗條件
a）鍍膜室內為空載（即不放被鍍物品，也不進行濺射），不得拆去設備正常工作時應安裝的濺射源、工件支架等部件；
b）真空測量規(guī)管應裝于鍍膜室靠近排氣口位置上；
c）允許在抽氣過程中用設備本身配有的加熱或轟擊裝置對鍍膜室進行除氣。
4.2鍍膜室恢復真空抽氣時間
4.2.1試驗條件
按4.1.1。
4.3升壓率
4.3.1試驗條件
按4.1.1
4.3.2試驗方法
按GB/T11164-1999中的5.3.2
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