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| 蒸發(fā)式真空鍍膜機(jī)是如何工作的？ |
| 發(fā)布時(shí)間：2014-07-08 瀏覽： 次 |
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通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面，稱為蒸發(fā)鍍膜。 此方法最早由英國物理學(xué)家M.法拉第于1857年提出，現(xiàn)代已成為常用鍍膜技術(shù)之一。 蒸發(fā)物質(zhì)如金屬、化合物等置于坩堝內(nèi)或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物質(zhì)蒸發(fā)。 蒸發(fā)物質(zhì)的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。 膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時(shí)間(或決定于裝料量)，并與源和基片的距離有關(guān)。對于大面積鍍膜，常采用旋轉(zhuǎn)基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。 從蒸發(fā)源到基片的距離應(yīng)小于蒸氣分子在殘余氣體中的平均自由程，以免蒸氣分子與殘氣分子碰撞引起化學(xué)作用。 蒸氣分子平均動能約為0.1～0.2電子伏。 以上是進(jìn)口真空鍍膜設(shè)備維修專業(yè)人員愛加真空為大家提供的蒸發(fā)式真空鍍膜機(jī)的工作原理，希望能夠?qū)Υ蠹矣兴鶐椭?/p>
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